工业废气UV光氧净化器利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而生成臭氧。 UV+O2mdash;O-+O*(活性氧)0+O2rarr;O,(臭氧),臭氧与呈游离状态污染物质原子聚合，生成新的、无害或低害物质，如 CO2、H2O等，同时，臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。
UV光氧净化器设备中对有机挥发性废气首要进行光解与催化氧化。光解首要是通过高能UV紫外线对空气中的氧气发生分解作用，推进氧分子分化变成游离态的氧，因为游离态氧上的正负电子处于不平衡状态，因而游离态氧极易与氧分子联系生成臭氧，而臭氧的强氧化作用可以推进有机挥发性废气的分化。在UV高效设备内安装着紫外线放电管，紫外线放电管发作的光子能量可以高达647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以迅速裂解小于该能量的有机挥发性废气的分子键，使其转变为无机小分子物质。
在 UV 光氧催化氧化废气设备中增加纳米级其他活性材料，将活性材料给予紫外线照耀，活性材料可以吸收大量的光能，于外表发生反应进而生成 h+(空穴)与e-(电子)，而空穴与电子所具有的氧化复原才能，可与氧、水发作反响，迅速生成具有极强氧化才能的-OH(氢氧根自由基)与O2(超级阴氧离子)。OH 氧化电位适当高，可以氧化有机挥发性废气中的电子，推进无光吸收才能物质的氧化分化。研讨发现，在紫外光的能量以及纳米活性催化氧催化作用下，有机挥发性废气在短短 2-3 秒的时刻内就可以被充分分化。光氧催化技能是在外界可见光的作用下发作催化作用，以半导体及空气为催化剂，以光为能量，将有机物降解为 CO2,和 H2O 及其它无毒无害成份，废臭气体通过处理后可到达净化的更理想的作用。因为在光催化氧化反响过程中无任何增加剂，所以不会发作二次污染，运转本钱方面仅仅用到电能，无需常常替换配件，对于公司、企业来说使用上是适当的节能环保。
